Reference number
ISO 23170:2022
International Standard
ISO 23170:2022
Surface chemical analysis — Depth profiling — Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
Edition 1
2022-06
Preview
ISO 23170:2022
74814
No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2022)

ISO 23170:2022

ISO 23170:2022
74814
Idioma
Formato
CHF 151
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Resumen

This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).

Informaciones generales

  •  : Publicado
     : 2022-06
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  •  : 1
     : 29
  • ISO/TC 201/SC 4
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

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