Numéro de référence
ISO 14644-10:2022
Norme internationale
ISO 14644-10:2022
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 10: Évaluation de la propreté chimique des surfaces
Edition 2
2022-05
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ISO 14644-10:2022
76891
Publiée (Edition 2, 2022)

ISO 14644-10:2022

ISO 14644-10:2022
76891
Langue
Format
CHF 151
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Résumé

Le présent document définit les procédés d’essai appropriés afin de déterminer la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Il s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé apparenté, telle que les murs, plafonds, sols, surfaces de travail, outils, équipements et dispositifs.

NOTE 1        Il n’est tenu compte que des caractéristiques chimiques des particules aux fins du présent document. Leurs propriétés physiques sont ignorées et le présent document ne traite pas non plus les interactions entre la contamination et la surface.

NOTE 2        Le présent document n’inclut pas la génération de contamination ni aucune influence dépendant du temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des procédés telle que le transport et la manipulation. Il ne comporte pas non plus de recommandations relatives aux techniques statistiques de maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2022-05
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 2
     : 31
  • ISO/TC 209
    13.040.35 
  • RSS mises à jour

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