ISO 14606:2022
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ISO 14606:2022
83238
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État actuel : Publiée
fr
Format Langue
std 1 92 PDF + ePub
std 2 92 Papier
  • CHF92
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Résumé

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2022-11
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 3
  • ISO/TC 201/SC 4
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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