Projet de travail
ISO/WD 19383
Titre manque
Numéro de référence
ISO/WD 19383
ISO/WD 19383
Edition 1
© ISO 2024
Projet de travail
Résumé
This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.
Informations générales
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État actuel: ProjetStade: Clôture de la période des observations [20.60]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 107
- RSS mises à jour
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