Тезис

This International Standard specifies the guidelines of the method and procedure for determining the effect of temperature on atomic force microscope (AFM) nano-scale dimension measurements. The effect of temperature can be evaluated by continuously measuring the changes of the X- and Y- pitches and height of a two-dimensional (2D) calibration grating in an environmental temperature controllable AFM. If necessary, this method and procedure can be used to evaluate the effect of temperature on dimension measurement of other scanning probe microscopes(SPMs).


Общая информация 

  • Текущий статус
     :  Under development
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет
     : ISO/TC 201/SC 9 Scanning probe microscopy
  • ICS
     :

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цели в области устойчивого развития:

3
Хорошее здоровье и благополучие
9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Жизненный цикл


Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах.

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. ТК
  5. ISO/TC 201/SC 9
  6. ISO/AWI 4508